アドバンテスト R6161 直流電圧/電流発生器 6桁半 直流標準電圧電流発生器
10nV〜1199.999V 1nA〜119.9999mA オートレンジまたは固定レンジ
最大設定 1199999 100チャンネルのメモリ内蔵機能
直流電圧発生 7レンジ(10mV、100mV、1000mV、1V、10V、100V、1000V) 10nV〜1200V
24時間 安定度 0.0007%+0.0030%(10mVレンジ)
24時間 安定度 0.0007%+0.0003%(100mVレンジ)
24時間 安定度 0.0007%+0.0002%(1000mVレンジ)
24時間 安定度 0.0005%+0.0003%(1Vレンジ)
24時間 安定度 0.0005%+0.0002%(10V、100V、1000Vレンジ)
90日間絶対確度 0.0060%+0.0230%(10mVレンジ)
90日間絶対確度 0.0045%+0.0025%(100mVレンジ)
90日間絶対確度 0.0035%+0.0008%(1000mVレンジ)
90日間絶対確度 0.0025%+0.0011%(1Vレンジ)
90日間絶対確度 0.0025%+0.0007%(10V、100Vレンジ)
90日間絶対確度 0.0030%+0.0007%(1000Vレンジ)
180日絶対確度 各レンジの90日間絶対確度に0.0005%+0.0000%加算
(参考値) 年間絶対確度 各レンジの90日間絶対確度に0.0010%+0.0000%加算
直線性誤差 0.0003%(10mV、100mV、1V、10Vレンジ)
0.0004%(1000mV、100Vレンジ)
0.0005%(1000Vレンジ)
最大負荷電流 120mA(1V、10V、100Vレンジ) 12mA(1000Vレンジ)
電圧リミッター 10V〜1250V(10V分解能)
出力抵抗 10mV、100mV、1000mVレンジ:200Ω±0.5%
1V、10V、100V、1000Vレンジ:100mΩ以下
*10mV、100mV、1000mVレンジはDivider ON、Divider出力端子から出力
*1000mVレンジと1Vレンジの短時間安定度比較では1000mVレンジのほうがゼロ安定度が良い。
直流電流発生 3レンジ(1mA、10mA、100mA) 1nA〜120mA
24時間 安定度 0.0012%+0.0002%(1mAレンジ)
24時間 安定度 0.0007%+0.0002%(10mA、100mAレンジ)
90日間絶対確度 0.0060%+0.0009%(1mAレンジ)
90日間絶対確度 0.0045%+0.0009%(10mA、100mAレンジ)
180日絶対確度 各レンジの90日間絶対確度に0.0005%+0.0000%加算
(参考値) 年間絶対確度 各レンジの90日間絶対確度に0.0010%+0.0000%加算
直線性誤差 0.0003%(1mA、10mAレンジ)
0.0005%(100mAレンジ)
出力追従電圧 120V(全レンジ)
電流リミッター 1mA〜125mA(1mA分解能)
出力抵抗 1mA、10mAレンジ:5GΩ以上
100mAレンジ:1GΩ以上
*24時間安定度、直線性誤差は23℃±1℃、90日間以上の絶対確度は23℃±5℃で規定
確度仕様は各±(設定の%+レンジの%)
予熱時間 60分(規定の確度に入るまでの時間)
セットリングタイム(最終値の±0.001%までの到達時間) 1秒(1000Vレンジのみ10秒)
外形寸法 424(幅)×132(高)×500(奥行)mm 重量 約17.5kg
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短時間安定度 10Vレンジ ±(0.00005%+0.005mV)
ただし、10分間、±0.5℃、電気計測超精密研究所で校正時のみ
絶対直線性誤差、電源電圧変動誤差(電源電圧±0.2V以上)は含みません。
高確度校正 電気計測超精密研究所で校正時のみ、下記の確度を適用
90日間絶対確度 0.0030%+0.0200%(10mVレンジ)
90日間絶対確度 0.0025%+0.0020%(100mVレンジ)
90日間絶対確度 0.0021%+0.0006%(1000mVレンジ)
90日間絶対確度 0.0016%+0.0008%(1Vレンジ)
90日間絶対確度 0.0016%+0.0005%(10V、100Vレンジ)
90日間絶対確度 0.0018%+0.0005%(1000Vレンジ)
180日絶対確度 各レンジの90日間絶対確度に0.0005%+0.0000%加算
年間絶対確度 各レンジの90日間絶対確度に0.0010%+0.0000%加算
90日間絶対確度 0.0035%+0.0006%(1mA、100mAレンジ)
90日間絶対確度 0.0030%+0.0006%(10mAレンジ)
180日絶対確度 各レンジの90日間絶対確度に0.0005%+0.0000%加算
年間絶対確度 各レンジの90日間絶対確度に0.0010%+0.0000%加算
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2003.11.25 校正・調整済(下記の各(参考)データは校正・調整前です。)
(使用標準器 HP3458A(S1)、HP3458A(S2)、フルーク742A、フルーク720A)
(参考)直線性試験データ(使用標準器HP3458A(S1)、HP3458A(S2)、フルーク742A、フルーク720A)
直線性試験校正精度 ±(読みのppm+レンジのppm)
0.1+0.1(10Vレンジ) 0.3+0.2(1V、1000mVレンジ)
0.3+0.1(100Vレンジ) 0.5+1.0(100mVレンジ)
0.7+0.1(100〜 500V:1000Vレンジ) 1.2+0.1( 500〜 700V:1000Vレンジ)
1.5+0.1(700〜 800V:1000Vレンジ) 1.8+0.1( 800〜 900V:1000Vレンジ)
2.0+0.1(900〜1000V:1000Vレンジ) 2.2+0.1(1000〜1100V:1000Vレンジ)
0.7+0.2(1mAレンジ) 0.8+0.2(10mAレンジ) 1.0+1.0(100mAレンジ)
*直線性試験・校正:計算後の校正値はゼロ誤差、レンジの100%の時の読みの誤差を除いた計算値
R6161の設定値 | 計算後の校正値 | R6161の設定値 | 計算後の校正値 | |
10Vレンジ | 10Vレンジ | |||
00.00000 | 00.000000 | 00.00000 | 00.000000 | |
01.00000 | 00.999998 | 00.10000 | 00.100003 | |
02.00000 | 01.999999 | 00.20000 | 00.200000 | |
03.00000 | 03.000002 | 00.30000 | 00.300005 | |
04.00000 | 04.000002 | 00.40000 | 00.400002 | |
05.00000 | 05.000000 | 00.50000 | 00.500006 | |
06.00000 | 05.999999 | 00.60000 | 00.600004 | |
07.00000 | 06.999999 | 00.70000 | 00.700003 | |
08.00000 | 07.999999 | 00.80000 | 00.800003 | |
09.00000 | 08.999999 | 00.90000 | 00.900008 | |
10.00000 | 10.000000 | 01.00000 | 00.999998 | |
11.00000 | 11.000004 | 01.10000 | 01.100000 | |
11.99900 | 11.999003 | 10.00000 | 10.000000 |
R6161の設定値 | 計算後の校正値 | R6161の設定値 | 計算後の校正値 | |
100mVレンジ | 1000mVレンジ | |||
000.0000 | 000.0000 | 0000.000 | 0000.0000 | |
010.0000 | 010.0000 | 0100.000 | 0100.0002 | |
020.0000 | 020.0000 | 0200.000 | 0199.9999 | |
030.0000 | 029.9999 | 0300.000 | 0299.9998 | |
040.0000 | 040.0000 | 0400.000 | 0399.9996 | |
050.0000 | 050.0000 | 0500.000 | 0499.9999 | |
060.0000 | 060.0000 | 0600.000 | 0599.9997 | |
070.0000 | 069.9999 | 0700.000 | 0699.9996 | |
080.0000 | 079.9999 | 0800.000 | 0799.9992 | |
090.0000 | 089.9999 | 0900.000 | 0899.9997 | |
100.0000 | 100.0000 | 1000.000 | 1000.0000 | |
110.0000 | 109.9999 | 1100.000 | 1100.0003 | |
119.9900 | 119.9899 | 1199.900 | 1199.9006 |
R6161の設定値 | 計算後の校正値 | R6161の設定値 | 計算後の校正値 | |
1Vレンジ | 100Vレンジ | |||
0.000000 | 0.0000000 | 000.0000 | 000.00000 | |
0.100000 | 0.0999997 | 010.0000 | 009.99999 | |
0.200000 | 0.2000001 | 020.0000 | 020.00000 | |
0.300000 | 0.2999998 | 030.0000 | 030.00004 | |
0.400000 | 0.4000000 | 040.0000 | 040.00002 | |
0.500000 | 0.4999997 | 050.0000 | 050.00002 | |
0.600000 | 0.5999997 | 060.0000 | 060.00000 | |
0.700000 | 0.6999997 | 070.0000 | 070.00000 | |
0.800000 | 0.8000001 | 080.0000 | 080.00004 | |
0.900000 | 0.9000001 | 090.0000 | 090.00001 | |
1.000000 | 1.0000000 | 100.0000 | 100.00000 | |
1.100000 | 1.0999996 | 110.0000 | 110.00002 | |
1.199900 | 1.1998996 | 119.9900 | 119.98995 |
R6161の設定値 | 計算後の校正値 | R6161の設定値 | 計算後の校正値 | |
1000Vレンジ | 1mAレンジ | |||
0000.000 | 0000.000 | 0.000000 | 0.000000 | |
0100.000 | 0100.000 | 0.100000 | 0.100000 | |
0200.000 | 0200.000 | 0.200000 | 0.200000 | |
0300.000 | 0300.000 | 0.300000 | 0.300001 | |
0400.000 | 0400.000 | 0.400000 | 0.400001 | |
0500.000 | 0500.000 | 0.500000 | 0.500000 | |
0600.000 | 0600.000 | 0.600000 | 0.600000 | |
0700.000 | 0700.000 | 0.700000 | 0.700000 | |
0800.000 | 0800.000 | 0.800000 | 0.800000 | |
0900.000 | 0900.000 | 0.900000 | 0.900000 | |
1000.000 | 1000.000 | 1.000000 | 1.000000 | |
1100.000 | 1100.000 | 1.100000 | 1.100001 | |
1199.999 | 1200.00 | 1.199900 | 1.199901 |
R6161の設定値 | 計算後の校正値 | R6161の設定値 | 計算後の校正値 | |
10mAレンジ | 100mAレンジ | |||
00.00000 | 00.00000 | 000.0000 | 000.0000 | |
01.00000 | 01.00000 | 010.0000 | 010.0000 | |
02.00000 | 02.00000 | 020.0000 | 019.9999 | |
03.00000 | 03.00000 | 030.0000 | 029.9999 | |
04.00000 | 04.00000 | 040.0000 | 039.9999 | |
05.00000 | 05.00000 | 050.0000 | 049.9999 | |
06.00000 | 05.99999 | 060.0000 | 059.9999 | |
07.00000 | 07.00000 | 070.0000 | 069.9999 | |
08.00000 | 08.00000 | 080.0000 | 079.9999 | |
09.00000 | 09.00000 | 090.0000 | 090.0000 | |
10.00000 | 10.00000 | 100.0000 | 100.0000 | |
11.00000 | 11.00001 | 110.0000 | 110.0000 | |
11.99900 | 11.99902 | 119.9900 | 119.9901 |
(参考)短時間安定度試験データ(使用標準器HP3458A(S1)、HP34420A、フルーク742A)
短時間安定度試験相対校正精度 ±(読みのppm) 10分間 *すべて相対値
10(1mV) 2(10mV) 0.5(100mV) (HP34420A)
0.4(1V) 0.2(10V) 0.6(100V、500V) (HP3458A(S1)、フルーク720A)
1(0.1mA)
0.8(1mA) 0.9(10mA) 0.9(100mA)(HP3458A、フルーク742A)
*試験条件 ±0.5℃ 1分間以上出力後、約1分間測定 NPLC100 すべて固定レンジを使用
R6161設定値 | 測定値 | R6161設定値 | 測定値 | |
10.00000m | 10mV | 01.00000m | 1mV | |
最小値 | 10.000490 | 最小値 | 01.000416 | |
平均値 | 10.000495 | 平均値 | 01.000419 | |
最大値 | 10.000498 | 最大値 | 01.000424 | |
測定回数 | 18 | 測定回数 | 13 | |
標準偏差 | 00.000002 | 標準偏差 | 00.000002 |
R6161設定値 | 測定値 | R6161設定値 | 測定値 | |
100.0000m | 100mV | 010.0000m | 10mV | |
最小値 | 100.00087 | 最小値 | 010.00011 | |
平均値 | 100.00089 | 平均値 | 010.00012 | |
最大値 | 100.00091 | 最大値 | 010.00013 | |
測定回数 | 18 | 測定回数 | 18 | |
標準偏差 | 000.00001 | 標準偏差 | 000.00000 |
R6161設定値 | 測定値 | R6161設定値 | 測定値 | |
1000.000m | 1000mV | 0100.000m | 100mV | |
最小値 | 1000.00974 | 最小値 | 0099.99898 | |
平均値 | 1000.00982 | 平均値 | 0099.99904 | |
最大値 | 1000.00988 | 最大値 | 0099.99914 | |
測定回数 | 18 | 測定回数 | 18 | |
標準偏差 | 0000.00004 | 標準偏差 | 0000.00004 |
R6161設定値 | 測定値 | R6161設定値 | 測定値 | |
1.000000 | 1V | 0.100000 | 0.1V | |
最小値 | 1.00001229 | 最小値 | 0.10000024 | |
平均値 | 1.00001248 | 平均値 | 0.10000050 | |
最大値 | 1.00001266 | 最大値 | 0.10000085 | |
測定回数 | 18 | 測定回数 | 18 | |
標準偏差 | 0.00000013 | 標準偏差 | 0.00000016 |
R6161設定値 | 測定値 | R6161設定値 | 測定値 | |
10.00000 | 10V | 01.00000 | 1V | |
最小値 | 10.0000716 | 最小値 | 01.0000046 | |
平均値 | 10.0000726 | 平均値 | 01.0000051 | |
最大値 | 10.0000734 | 最大値 | 01.0000056 | |
測定回数 | 18 | 測定回数 | 18 | |
標準偏差 | 00.0000005 | 標準偏差 | 00.0000003 |
R6161設定値 | 測定値 | R6161設定値 | 測定値 | |
100.0000 | 100V | 010.0000 | 10V | |
最小値 | 100.000781 | 最小値 | 010.000096 | |
平均値 | 100.000792 | 平均値 | 010.000099 | |
最大値 | 100.000797 | 最大値 | 010.000104 | |
測定回数 | 18 | 測定回数 | 18 | |
標準偏差 | 000.000004 | 標準偏差 | 000.000002 |
R6161設定値 | 測定値 | R6161設定値 | 測定値 | |
0500.000 | 500V | 0100.000 | 100V | |
最小値 | 0500.00495 | 最小値 | 0100.00091 | |
平均値 | 0500.00500 | 平均値 | 0100.00097 | |
最大値 | 0500.00511 | 最大値 | 0100.00101 | |
測定回数 | 18 | 測定回数 | 18 | |
標準偏差 | 0000.00005 | 標準偏差 | 0000.00002 |
R6161設定値 | 測定値 | R6161設定値 | 測定値 | |
100.0000m | 100mA | 010.0000m | 10mA | |
最小値 | 100.00114 | 最小値 | 010.00017 | |
平均値 | 100.00119 | 平均値 | 010.00018 | |
最大値 | 100.00123 | 最大値 | 010.00019 | |
測定回数 | 18 | 測定回数 | 18 | |
標準偏差 | 000.00003 | 標準偏差 | 000.00000 |
R6161設定値 | 測定値 | R6161設定値 | 測定値 | |
10.00000m | 10mA | 01.00000m | 1mA | |
最小値 | 10.000096 | 最小値 | 00.999997 | |
平均値 | 10.000100 | 平均値 | 00.999998 | |
最大値 | 10.000106 | 最大値 | 01.000000 | |
測定回数 | 18 | 測定回数 | 18 | |
標準偏差 | 00.000003 | 標準偏差 | 00.000001 |
R6161設定値 | 測定値 | R6161設定値 | 測定値 | |
1.000000m | 1mA | 0.100000m | 0.1mA | |
最小値 | 1.0000147 | 最小値 | 0.1000016 | |
平均値 | 1.0000149 | 平均値 | 0.1000018 | |
最大値 | 1.0000151 | 最大値 | 0.1000020 | |
測定回数 | 18 | 測定回数 | 18 | |
標準偏差 | 0.0000001 | 標準偏差 | 0.0000001 |
(参考)短時間超高精度安定度試験データ(使用標準器HP3458A(S1))
短時間安定度試験相対校正精度 ±(読みのppm) 10分間 ±0.5℃ *すべて相対値
0.2(10V)
設定値 10Vレンジ 10.00000V 出力ON、1分後の10分間連続出力試験データ
*上記の電圧測定ではこちらでの最高相対校正精度に近い、非常に高い精度で測定しています。
上記のデータを見ますと発生電圧値に対して−0.2ppm程度の変動です。
経過時間とともに+または−へ0.1ppm程度(1分〜数分)の変動があるようです。
←シリアル番号がありません。
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